半导体所牵头制定的《石墨烯薄膜层数测量：拉曼光谱法》国际标准正式发布

2025年10月16日 09:10:39 人气: 21350 来源: 中国科学院半导体研究所

　　【仪表网行业标准】近日，国际电工委员会纳米电工产品与系统技术委员会(IEC/TC 113)正式发布国际标准IEC TS 62607-6-28:2025 Nanomanufacturing - Key control characteristics - Part 6-28: Graphene-related products - Number of layers for graphene films on a substrate: Raman spectroscopy(纳米制造 - 关键控制特性 - 第6-28部分：石墨烯相关产品 - 基底上石墨烯薄膜的层数：拉曼光谱法)。该标准由中国科学院半导体研究所谭平恒研究团队牵头提案并组织编制，国家纳米科学中心、深圳市标准技术研究院以及来自德国、日本、韩国的专家参与制定工作。

　　石墨烯薄膜的层数是石墨烯相关材料最核心、最基础的物理性能参数之一，其表征方法的构建与标准的制定是石墨烯材料研发、精准制备和应用的重要基石。该标准基于谭平恒研究团队原创性的前沿科学研究成果和具有自主知识产权的专利技术，在国际标准中建立单独使用拉曼光谱法检测石墨烯薄膜层数的技术规则和检测标准。该标准提供了两种独立的标准化方法，分别是基于石墨烯薄膜拉曼光谱中的2D模线型(方法A，适用5层以内AB堆垛的石墨烯薄膜)和石墨烯薄膜覆盖下SiO2/Si衬底的硅拉曼模峰高(方法B，适用10层以内AB和ABC堆垛的石墨烯薄膜)与层数之间的对应关系，对石墨烯薄膜的层数进行精准判定和交叉验证，进一步提高了复杂样品的检测可靠性。相比于现行国际标准中需使用多种检测手段结合的方法，该标准仅使用常规拉曼光谱仪即可完成，测量步骤简单清晰、提高了检测效率和可操作性。

　　同时，该标准突破了现行国际标准中仅适用于5层以内石墨烯薄膜的局限性，将层数检测范围拓展到了10层，扩宽了应用范围，为石墨烯产品和相关科学研究提供了科学可靠的参考和技术指导，有助于提高石墨烯产品质量，降低生产、检验和人工成本，易于推广实施，规范市场秩序，引导产业健康发展。

关键词：石墨烯薄膜,拉曼光谱法

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